制冷循環(huan)冷水機(ji)使(shi)用範(fan)圍(wei)：對半導(dao)體制造(zao)裝(zhuang)置(zhi)發熱部(bu)的(de)冷卻：單(dan)晶(jing)片(pian)洗凈轉(zhuan)載、印刷機(ji)、自(zi)動夾座(zuo)安(an)裝(zhuang)裝(zhuang)置(zhi)、噴(pen)塗(tu)裝(zhuang)置(zhi)、離(li)子(zi)鍍裝(zhuang)置(zhi)、蝕刻(ke)裝(zhuang)置(zhi)、單(dan)晶(jing)片(pian)處(chu)理(li)裝(zhuang)置(zhi)、切(qie)片(pian)機(ji)、包裝(zhuang)機(ji)、顯(xian)影(ying)劑的(de)溫度(du)管(guan)理(li)、露(lu)光(guang)裝(zhuang)置(zhi)、生(sheng)磁(ci)部(bu)分(fen)的(de)加熱裝(zhuang)置(zhi)等(deng)。對激(ji)光(guang)裝(zhuang)置(zhi)發熱部(bu)分的(de)冷卻：激(ji)光(guang)加工(gong)、熔(rong)接(jie)機的(de)發熱部(bu)分、激(ji)光(guang)標(biao)誌(zhi)裝(zhuang)置(zhi)、發生(sheng)裝(zhuang)置(zhi)、二(er)氧(yang)化碳激(ji)光(guang)加工(gong)機(ji)等(deng)。